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新型光整加工方法機械化學研磨的相關介紹-冈本视频旧版下载安装ioses石墨

機械力化學磨削是利用軟磨粒與工件接觸處產生的機械力化學現象,去除工件表麵的微小物質。新型光整加工方法近年來在生產加工領域得到了廣泛的應用。其主要優點是經濟性好,生產率高,半導體等晶體加工精度高。

1. 濕式機械力化學研磨

濕式機械化學研磨可用於矽片的最終整理。它使用直徑為0.01微米的二氧化矽磨料微粉,將膠體液體均勻地混合在弱堿溶液中作為磨料劑。質地細膩的軟泡沫多胺人造革..

磨削時,工件直徑大,沒有柔軟的皮革網狀平麵,因此在高速,高壓條件下,工件可在棉卷的磨料層的表麵之間形成。棉卷的表麵不規則性,盡管輕微,有的另一工件的接觸位置,風和雨,但該磨料工件和研具之間均普遍。當處理時,在晶片表麵可以軟搭接和磨料除去水膜的形成。因此,拋光不是直接由搭接的機械作用,但除去由棉卷水合膜生產的,因此,可以進行良好的研磨。

然而,這些新型光整加工方法與上述並不完全相同,由於水化膜有時斷裂,矽片表麵將存在加工缺陷。然而,這些缺陷可以通過清洗或HF水溶液腐蝕來消除,並且仍然可以得到沒有任何加工缺陷的表麵..增加磨削壓力或減少磨削液的供應,增加了矽片表麵的缺陷;當磨削速度增加時,由於水表麵的漂浮現象,使磨削液膜層增厚,從而減少了矽片的表麵缺陷。

為了降低磨削效率,機械化學磨削可分為兩個步驟: 第一步是使用粗磨料和通風良好的研磨工具,為了使研磨液膜變薄,利用磨料和工具表麵的機械作用破壞水化膜,使研磨工具和矽片直接接觸,從而提高研磨效率。

2.幹機械和化學研磨

幹式化學拋光搭接作為玻璃板,軟二氧化矽研磨劑拋光藍寶石。研磨,在二氧化矽的表麵和藍寶石之間的接觸會產生化學反應,以產生軟容易地除去富鋁紅柱石,使得高質量的工件表麵上。

幹機械化學磨削的特點如下:

(1)化學反應範圍小,有利於加工,磨料粉反應性強,可明顯提高磨削效率,甚至比1微米粒度的金剛石粉還要高。

(2)工件表麵不會產生劃痕,即使使用300攝氏度的熱磷酸蝕,也不會出現加工缺陷,因此磨削後的工件可以獲得良好的鏡麵。

(3)研磨刀具磨削後采用玻璃板製成,研磨過程中研磨刀具幾乎沒有彈性變形,工件形狀的邊緣不會塌陷。

在生產過程中,有研磨的方法很多,拋光隻是上述化學機械拋光的網站上常見的新型光整加工方法之一。對於加工企業,生產加工時間必須根據其自身的特點選擇適合自己的工作方法,這樣不僅提高工作效率,而且成本高。

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