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微量流體控製器件與係統-冈本视频下载石墨

微量流體進行控製管理係統發展具有集成化與大批量生產的可能性,有與尺寸小可以通過減少無效體積,耗能低,且響應快,有利於學生提高內部控製技術精度。微量流體控製信息係統研究主要有微型泵、微型閥以及微流量傳感器等構成。微型主動閥、微型泵亦可單獨構成開環的微量流體控製環境係統,集成為網絡流量傳感器的閉環控製工作係統設計可能無法實現自己更高的微量流體控製性能。

對於微量流體控製裝置和係統,具體介紹如下..

1、 微型閥

隔膜閥或閉塞閥的微型閥使用矽多個汽提,以實現切換閥的變形例的對象的,變形通常小於20微米,盡管施加大的致動力,同時也對大多數彈性的消耗膜片的變形。微閥的泄漏是影響個人控製閥的性能的重要因素。自對準結構和所述閥塞與所述閥孔的納米製造工藝的接觸表麵的設計,以使閥的泄漏非常小。

美國公司研製出雙金屬片結構的電熱致動微型閥較早係統實現了產品化,兩種熱膨脹係數分析不同的薄膜材料矽和鋁。當通電加熱時,因熱膨脹伸長量不同發展導致企業垂直管理方向可以彎曲變形,斷電時薄膜彈性功能恢複、從而有效控製一個微型閥的開啟和關閉。

2、 微型泵

基於精細加工工藝特點和尺寸效應,微泵多采用薄膜結構設計.. 微膜泵的基本原理是執行器引起膜的彈性變形,使泵腔內的體積和壓力發生變化。 通過主動或驅動控製入口和出口的單向閥,從而引起氣體和液體的定向流動。 到目前為止,有許多中型薄膜閥、蠕動泵、電液動力泵和非無閥泵,在錐形習慣中采用不同的壓降和反向流動原理設計。

荷蘭氣動隔膜泵熱色值,玻璃和矽有矽和通過陽極融合法的矽層疊在一起。該泵包括一個主體部分和兩個單向閥薄膜的,該膜是由出口側單向閥的流體壓力向下彎曲;該膜是向上彎曲通過流體吸入側單向閥入口。

3、 微量流體進行控製管理係統

日本開發了壓電驅動控製的微型泵和三通閥的基礎上,早期嚐試的綜合化學分析係統。 微型泵和三通閥的主要結構由兩個帶有一層玻璃的矽片和一個外部壓電執行器組成。

荷蘭微型泵集成液體釋放係統的微流量傳感器微量。矽體單麵蝕刻過程中,薄膜的熱泵和基於集成在同一矽芯片生產熱微流檢測原理空氣流量傳感器。係統控製裝置與其他進一步混合,微流體檢測容易集成。

瑞士公司研製的微量流體進行控製管理係統,當液體流經網絡流量通過傳感器的懸臂梁端部的窄縫時,液體的粘滯力使懸臂梁結構變形,由應變片可檢知出口貿易流量。

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