新聞資訊

精密測量中膜層的厚度要如何進行測量-冈本视频在线观看石墨

對於電影的測量,一般的測量工具都無法做到這一點,在這個時候精密測量就顯得尤為重要。的介質的品種,並在電子工業的金屬薄膜半導體,光學和化學工業已被廣泛應用。該膜的厚度對設備或儀器的性能有直接影響。例如,厚度和矽微電路的介電層的組合物中,以半導體行業非常重要的,這些層的厚度將集成電路的性能和可靠性期間確定。

采用一個平麵設計工藝技術製造的集成係統電路,通常在矽襯底或矽片上有這樣一層熱生長的二氧化矽絕緣層,這薄薄的二氧化矽介質層使得矽襯底的表麵態密度影響降到最小,並且可以通過有效防止PN結吸收沾汙氣而使矽表麵形成穩定。

在MOS器件中,二氧化矽層的厚度決定了這一時期的開路電壓。 矽片上某一區域過厚的氧化矽層會導致該區域的開啟電壓增加,甚至矽片上二氧化矽厚度的微小變化會導致元件失配,從而降低器件的心理複雜性。 因此,在線監測和控製各種膜厚測量機的生產過程,以提供高靈敏度和高精度是更重要的。

它已經進入的膜厚度範圍從納米微米。一種集成電路,例如,各種膜已被純化約為10nm至100nm到材料結構的研究已經幾乎水平為0.1nm。從微米到納米各種,大分類測量膜厚度的方法:

1、 機械法:稱量法、機械探針法、光學工程機械法及磨角染色測微法等。

2.電法:磨角電探針法,電阻法,電容電感法,晶體振蕩法和電子射線法等..

3,光電方法:光電最大方法(增稠,可變角,可變波長),幹涉全息攝影法,X射線法和掃描電子顯微鏡,俄歇電子能譜,和類似物。

上麵進行介紹的這些研究方法中,最常用的方法是光電法,其中有冈本视频在线观看很多教學方法其精確度都可以可以達到納米級的精度。

稱重法可檢測各種膜厚,精度高,量程大的測量大麵積膜,並可通過鍍邊實現自動監測,仍用於振動鍍膜過程.. 機械探針法可以用杠杆放大器和電子放大器測量。 該方法具有亞微米級精度和較大的測量範圍,但膜層需要開槽檢測。

進行與未塗覆的光學比較器比較直接在基板的讀取厚度,由於光學變焦杆機構,可測的0.1微米的厚度。細長的電阻絲可以與基準板,基準片材長度,一定寬度,並且與其它方法的薄層電阻的電鍍厚度的預測相反的關係被鍍,可以通過電阻的厚度直接給出,它可以被鍍側邊緣測量,有效精度。點探針法可在電阻的厚度來測量出麵。磨角電探針染色方法和通過一個小的角度被測量坡口研磨。

染色技術或者電探針則是企業為了重要指示膜層與基片的分界線。對於學生測量PN結的寬度很有可能使用時間價值,但精度要求不高。電容法是用來測價質膜。電感法是測量金屬鍍層的。

相關文章