新聞資訊

​半導體工業燒結用石墨模具材料的選擇-冈本视频黄片石墨

燒結用石墨模具

由於高純石墨具有耐高溫、純度高、高溫下尺寸穩定、耐熱衝擊性能好等特點,所以在半導體工業中廣泛采用高純石墨製作各種燒結模具。

(1)電子器件燒結用石墨模具。石墨燒結模適用於各種類型的二極管、三極管、可控矽管等器件的管心燒結,圖為部分燒結模具實例。采用高頻爐區熔法拉製單晶時,還采用石墨舟(見圖2-4)。

(2)各種絕緣子燒結模具。石墨模適用於各種類型的三極管、矽整流管、可控矽管座的燒結,電容器絕緣子燒結,厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結,超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結模具等,圖2-5為部分可控矽管和各種絕緣子燒結模具。

半導體工業用石墨模具材料的選擇

半導體工業對所用石墨材料要求其純度越高越好,特別是直接與半導體材料接觸的石墨器件

如坩塌、燒結用石墨模具等,雜質含量多會汙染半導體材料,因此不但對所用石墨原材料的純度要嚴加控製,而且還要經高溫石墨化處理,使其灰分降到最低程度。

半導體工業要求所用石墨材料顆粒度要細,顆粒度細的石墨不但容易達到加工精度而且高溫強度高、損耗小,特別是燒結用石墨模具要求加工精度很高。因為半導體工業所用的石墨器件(包括加熱器和燒結模)都需要承受反複加熱和冷卻過程,為了提高石墨器件的使用壽命,要求所用石墨材料在高溫下具有良好的尺寸穩定性和耐熱衝擊性能。為了滿足上述各項要求,目前我國生產了一係列適用於半導體工業所使用的石墨材料,其部分牌號和性能列於表

原創文章,轉賬請注明出處:www.wireless1mktg.com

相關文章