新聞資訊

單晶矽與多晶矽生成用炭石墨製品-冈本视频旧版下载安装ioses石墨

單晶矽與多晶矽生成用炭石墨製品

單晶矽的生產(CZ拉伸法)製造單晶矽棒的工藝有拉伸法(CZ)和浮遊帶區域精煉法(FZ),CZ法一般使用石墨製品。利用CZ法生產時,將多晶矽塊料和添加元素(摻雜)裝入石英坩堝,再將石英坩堝置於高純石墨坩堝或C/C複合材料坩堝圖像傳感器內,並使其隨軸旋轉,在減壓條件下通入氬籽晶把持器氣的同時用石墨製的加熱器加熱至1500觀察口光學1600℃,使多晶矽塊料融化。同時與坩堝旋轉相反的方向從爐頂旋轉垂下細棒狀的籽晶(單晶),使其觸及多晶矽液麵。

然後,使液麵溫度保持在1420℃的條件下,向上緩慢提矽溶液拉籽晶,單晶矽也隨之逐漸生長。一直生長到按照15.24cm、20.32cm或30.48cm等規定的直徑後,保持其直徑繼續向上拉伸,生產1~1.5m長的單晶矽棒。這種CZ單晶爐的結構如圖2-6所示。其中使用炭素材料的部件有坩堝(石墨或C/C複合材料)、加熱器、電極、保溫筒(石墨或C/C複合材料)、籽晶夾,以及支撐軸、上下保溫蓋(石墨或C/C複合材料)防漏盤、螺釘(石墨或C/C複合材料)、熱反射板(石墨或SiC塗層材料)(圖中未注明)等。其他如保溫材料等也用炭纖維或炭氈製成,除了作為原料的多晶矽以外,大部分爐內部件為炭石墨製品。之所以如此大量使用炭石墨製品,就是因為炭素材料即使用於1600℃高溫強度也不會降低,碳與矽同屬第Ⅳ族,電性能為中性,可以製造金屬雜質在數ppm以下的高純品。此外,作為加熱器有導電性。

原創文章,轉載請注明出處:www.wireless1mktg.com

相關文章